電子銃ハース回転機構手動操作時の安全確保について

事例

蒸着薬品交換中に回転しているハースと電子銃ポールピースとの間に指を挟み、怪我をすることがあります。

対策

1.蒸着薬品の交換、蒸着源周りの清掃等は、ハース回転機構が完全に停止していることを確認してから行ってください。

2.手動スイッチでハースを回転する際は、指が挟まれたり、袖口が巻き込まれたりしないよう、ハース回転機構から十分に離れてからスイッチを押してください。

【制御の変更】
ハース回転機構の手動操作時の一層の安全対策として、制御システムを変更することも可能です。