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服务与支持

关于真空镀膜机的停止

Example
长时间切断设备的主断路器时,有时会不起动。
Cause
设备上有序列发生器和触控面板等利用备用电池来保持软件的装置。备用电池老化时,软件可能会消失。
Measures
切断设备的主断路器时,请更换备用电池。无法重新起动设备时,请与本公司联系。

30, 2012 1:15

关于油旋转泵的防爆对策

Example
更换蒸镀药品时,有时手指会被夹在旋转中的坩埚和电子枪极片之间受伤。
Measures
1.更换蒸镀药品、清扫蒸镀源周围时,请确认坩埚旋转机构完全停止之后再进行。

2.用手动开关使坩埚旋转时,为了避免手指被夹伤、袖口被卷入,请充分离开坩埚旋转机构之后再按开关。

【变更控制系统】
作为手动操作坩埚旋转机构时的一项更加安全的对策,也可以变更控制系统。详情请向本公司营业负责人或品质保证部咨询。

29, 2012 1:33

关于油旋转泵的防爆对策

Example
排放可燃性、助燃性气体(氧气)时,油旋转泵的排出侧有时会爆炸。
Cause
从油旋转泵中排出的气体含有大量的油雾。试验和实地验证表明:当排放可燃性和助燃性气体时,容易以这种油雾为核心,在排气管内产生类似粉尘爆炸的现象。
Measures
有真空泵的对策和排气管的对策。

1.真空泵的对策
a.采用惰性油(全氟聚醚润滑脂、卤化碳等)作为油旋转泵的工作油很有效。
b.把油旋转泵变成不使用工作油的干式真空泵,就不会产生油雾了。

2.排气管的对策
在无法采取真空泵的对策的情况下产生活性油雾时,用防爆风扇强制排放废气,变成负压,就可以抑制粉尘爆炸的发生。使用油雾收集器时,请使用防火、耐腐蚀型元件。稀释可燃性、自燃性废气时,请让氮气向油旋转泵的气镇阀流动。
另外,静电被认为会引发粉尘爆炸,采用金属制排气管,并将整个管道接地(日本工业标准JIS第D种),可以抑制静电的产生。

28, 2012 1:34

低温泵再生时的爆炸

Example

低温泵因故障、停电、过负荷等理由而停止之后,为了再生,用油旋转泵排气时,真空泵的大气侧有时会爆炸。
Cause
如果低温泵因某种理由而停止,泵内的温度就会上升,会释放出吸附的氢、氧等。如果把它们一下子排放出来,氢就会在大气侧爆炸。
Measures
请务必进行“氮气导入再生”。

27, 2012 1:35

MP电容器的老化

Example
在采用AC200V继电器的排气控制盘上使用的MP电容器(Metallized Paper Condenser),可能会因长年使用老化后穿孔,偶尔会出现次生灾害。
Cause
使用了AC200V继电器的排气控制盘,发货后经过了15年~30年。平均每台控制盘使用了6~12个继电器自保持用的MP电容器,但是这些电容器因为长年使用而导致绝缘材料老化,电容器内的温度急剧上升,内部压力也随之上升,偶尔会出现穿孔。
Measures
使用AC200V继电器排气控制盘的客户,请将MP电容器更换为下列电容器。如有不明之处,请向本公司品质保证部咨询。

【代替电容器】
名 称:金属化聚酯膜电容器
型 号:MMC630K105
SHINCRON订货号:1000102950

26, 2012 1:36