装置のメインブレーカを長時間切った場合、起動しないことがあります。

装置にはシーケンサやタッチパネル等バックアップ電池によりソフトを保持しているものがあります。バックアップ電池が劣化している場合、ソフトが消失してしまう可能性が考えられます。

装置のメインブレーカを切る場合はバックアップ電池を交換してください。
装置を再起動できない場合、弊社までご連絡ください。

蒸着薬品交換中に回転しているハースと電子銃ポールピースとの間に指を挟み、怪我をすることがあります。

1.

蒸着薬品の交換、蒸着源周りの清掃等は、ハース回転機構が完全に停止していることを確認してから行ってください。

2.

手動スイッチでハースを回転する際は、指が挟まれたり、袖口が巻き込まれたりしないよう、ハース回転機構から十分に離れてからスイッチを押して下さい。

【制御の変更】
ハース回転機構の手動操作時の一層の安全対策として、制御システムを変更することも可能です。詳しくは、当社営業担当者または品質保証部にお問い合わせ下さい。

可燃性・支燃性ガス（酸素ガス）を排気する場合に、油回転ポンプの排出側で爆発することがあります。

油回転ポンプから排出されるガスには、オイルミストが大量に含まれています。可燃性・支燃性ガスを排気した場合、このオイルミストを核として、排気ダクト内で粉塵爆発に似た現象を起こしやすいことが、実験と実地検証でわかりました。

ポンプでの対策と、排気ダクトでの対策があります。

1.

ポンプでの対策
a.油回転ポンプの作動油に不活性油（フォンブリン、ハロカーボン等）を使用するのが効果的です。
b.油回転ポンプに換えて、作動油を使用しないドライポンプを使用するとオイルミストは発生しません。

2.

排気ダクトでの対策
ポンプでの対策を実施できず活性なオイルミストの発生がある場合は、排気ガスを防爆ファンで強制的に排出し負圧にすることにより、粉塵爆発の発生を抑制することが可能です。オイルミストトラップを使用する場合には、防炎・耐食型エレメントを使用してください。可燃性・支燃性排気ガスの希釈は、油回転ポンプのガスバラストバルブに窒素ガスを流してください。
また、金属製の排気ダクトを使用し、ダクト全体を接地（JIS第D種）することにより、粉塵爆発のトリガーになると考えられる静電気の発生を抑制することができます。

クライオポンプが故障、停電、過度の過負荷等、何らかの理由で停止した後、再生のために、油回転ポンプで排気する時、ポンプの大気側で爆発することがあります。

クライオポンプが何らかの理由で停止すると、ポンプ内の温度が上昇し、吸着していた水素、酸素などが放出されます。これを一気に排気すると大気側で水素が爆発します。

必ず、「窒素導入再生」を行ってください。

AC200V制御系を有するリレー排気制御方式制御盤に使用されているMPコンデンサ(Metallized Paper Condenser)が長年の使用による劣化でパンクし、稀に二次災害が発生する可能性があります。

AC200Vリレーを使用した排気制御盤は、出荷後15年〜30年経過しております。この制御盤には、リレーの自己保持用としてＭＰコンデンサが、一台あたり6〜12個使用されておりますが、このコンデンサは、長年の使用による絶縁材の劣化により、コンデンサ内の温度が急上昇することにより内部圧力が上昇し、稀にパンクする場合があります。

AC200Vリレー排気制御方式制御盤をご使用のお客様は、MPコンデンサを次のコンデンサに交換してください。
なお、ご不明な点は当社品質保証部までお問い合わせください。


【代替コンデンサ】
名　称： メタライズド・ポリエステル・フィルム・コンデンサ
形　式： MMC630K105
シンクロン注文コード： 1000102950