长时间切断设备的主断路器时，有时会不起动。

设备上有序列发生器和触控面板等利用备用电池来保持软件的装置。备用电池老化时，软件可能会消失。

切断设备的主断路器时，请更换备用电池。无法重新起动设备时，请与本公司联系。

更换蒸镀药品时，有时手指会被夹在旋转中的坩埚和电子枪极片之间受伤。

1.

更换蒸镀药品、清扫蒸镀源周围时，请确认坩埚旋转机构完全停止之后再进行。

2.

用手动开关使坩埚旋转时，为了避免手指被夹伤、袖口被卷入，请充分离开坩埚旋转机构之后再按开关。

【变更控制系统】
作为手动操作坩埚旋转机构时的一项更加安全的对策，也可以变更控制系统。详情请向本公司营业负责人或品质保证部咨询。

排放可燃性、助燃性气体(氧气)时，油旋转泵的排出侧有时会爆炸。

从油旋转泵中排出的气体含有大量的油雾。试验和实地验证表明：当排放可燃性和助燃性气体时，容易以这种油雾为核心，在排气管内产生类似粉尘爆炸的现象。

有真空泵的对策和排气管的对策。

1.

真空泵的对策
a.采用惰性油(全氟聚醚润滑脂、卤化碳等)作为油旋转泵的工作油很有效。
b.把油旋转泵变成不使用工作油的干式真空泵，就不会产生油雾了。

2.

排气管的对策
在无法采取真空泵的对策的情况下产生活性油雾时，用防爆风扇强制排放废气，变成负压，就可以抑制粉尘爆炸的发生。使用油雾收集器时，请使用防火、耐腐蚀型元件。稀释可燃性、自燃性废气时，请让氮气向油旋转泵的气镇阀流动。
另外，静电被认为会引发粉尘爆炸，采用金属制排气管，并将整个管道接地（日本工业标准JIS第D种），可以抑制静电的产生。

低温泵因故障、停电、过负荷等理由而停止之后，为了再生，用油旋转泵排气时，真空泵的大气侧有时会爆炸。

如果低温泵因某种理由而停止，泵内的温度就会上升，会释放出吸附的氢、氧等。如果把它们一下子排放出来，氢就会在大气侧爆炸。

请务必进行“氮气导入再生”。

在采用AC200V继电器的排气控制盘上使用的MP电容器(Metallized Paper Condenser)，可能会因长年使用老化后穿孔，偶尔会出现次生灾害。

使用了AC200V继电器的排气控制盘，发货后经过了15年～30年。平均每台控制盘使用了6～12个继电器自保持用的ＭＰ电容器，但是这些电容器因为长年使用而导致绝缘材料老化，电容器内的温度急剧上升，内部压力也随之上升，偶尔会出现穿孔。

使用AC200V继电器排气控制盘的客户，请将ＭＰ电容器更换为下列电容器。如有不明之处，请向本公司品质保证部咨询。


【代替电容器】
名　称：金属化聚酯膜电容器
型 号：MMC630K105
SHINCRON订货号：1000102950