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产品介绍

ACE

精密真空镀膜机 ACE系列

实现了高性能、高通用性的标准型真空镀膜机。可以从丰富多彩的型号中选择符合用途的装置。
ACE系列是在玻璃基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机。将满足客户需求的多种元件组合在一起,可以形成品质更加优良的薄膜。

优点

LINE UP

系统构成

基片伞架 球状伞架(Φ718、Φ950、Φ1200、Φ1400、Φ1700)、锥形伞架、平板夹具、反转夹具
光学式膜厚计 OPM-Z1
水晶式膜厚计 XTC/3S、IC/6
电脑系统 SDC-I
蒸发源 电子枪方式、电阻加热方式
坩埚 φ35/φ40坩埚
离子源 NIS-175、NIS-120、离子束辅助镀膜、离子束清洗

设备性能

排气时间 达到2×10-3Pa不超过10分钟(基片温度设定为300℃)
极限真空压 不超过5×10-5Pa
基片加热温度 常用250℃
膜厚分布 Δnd<±1.0%(按本公司标准发货基准)

安装条件(例)

ACE-1350S
所需电力 三相 200V±10% 约70kW(最大电力)
所需冷却水 约72L/min、18〜25℃(标准20℃)
所需压缩空气 不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)
安装面积 W5150mm×D7000mm×H3150mm,顶棚高度不低于3500mm
总重量 约7600kg

有关ACE系列的咨询

※产品规格如因提高性能之需而变更,恕不提前通知。详情请向本公司营业人员咨询。