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产品介绍

高速溅镀装置 BMS系列

是一款增添了最新的镀膜技术,可以满足更广泛用途的镀膜需求的溅镀装置。

优点

LINE UP

系统构成

圆型靶
成膜方式 溅射UP方式
基片伞架 平板及伞架型公转夹具
清洗 离子束清洗
电脑系统 SPC-8000

设备性能

排气时间 达到10-4Pa不超过10分钟
极限真空压 10-5Pa级
基片加热温度 常用300℃
性能 BMS-650 BMS-800
基片安装枚数 Φ3” 25枚 30枚
膜厚分布※1 ±5% 50mm的范围
(Φ3”基片15枚)
500mm的范围
(Φ3”基片25枚)
±10% 500mm的范围
(Φ3”基片25枚)
580mm的范围
(Φ3”基片30枚)
主要性能 极限压力 10-5Pa级
排气时间达到10-4Pa 不超过10分钟
基片加热温度 常用300℃
成膜速度※2 固定时 Al:6000Å/min SiO2:1000Å/min
旋转时 Al:300Å/min SiO2:50Å/min
※1: 采用伞架基片。450mm、500mm表示伞架曲面的长度。
※2: 固定时,基片靶间距离为60mm。电力在AI的情况下为DC2kW,在SiO2的情况下为1kW,旋转时采用伞架基片。导入气体为氩气。

安装条件

BMS-650
所需电力 三相 200V±10% 约25kW(最大电力)
所需冷却水 约40L/min、18〜25℃(标准20℃)
所需压缩空气 不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)
安装面积 W3400mm×D4000mm×H2200mm,顶棚高度不低于3000mm
总重量 约2000kg
BMS-800
所需电力 三相 200V±10% 约27kW(最大电力)
所需冷却水 约80L/min、18〜25℃(标准20℃)
所需压缩空气 不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)
安装面积 W3600mm×D3900mm×H2000mm,顶棚高度不低于2500mm
总重量 约4000kg

有关BMS系列的咨询

※产品规格如因提高性能之需而变更,恕不提前通知。详情请向本公司营业人员咨询。