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产品介绍

高速溅镀装置 BSC系列

BSC系列是全自动溅镀装置,可以在滤色片、玻璃基片上形成多层SiO2、ITO等,兼具出色的溅镀技术和很强的量产能力。
机型齐全,可满足从小规模生产到大量生产的广泛需求。

优点

LINE UP

本系列包括以下3种基本机型。

系统构成

基片伞架 伞架方式(Φ630×H330、Φ900×H760、φ1700×H1420)
电脑系统 SPC-8000
成膜方式 DC/RF磁控管的侧面溅射方式
方形溅射源(带宽蚀机构)

设备性能

性能 BSC-700 BSC-1000T BSC-1900
基片安装枚数 100mm×100mm 68枚 - -
300mm×400mm 6枚 16枚 48枚
370mm×470mm - - 26枚
400mm×500mm - - 24枚

安装条件

BSC-700
所需电力 约50kW(最大电力)
所需冷却水 约30L/min
所需压缩空气 不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)
安装面积 W3500mm×D3600mm×H2350mm
总重量 约2200kg
BSC-1000T
所需电力 约90kW(最大电力)
所需冷却水 约72L/min
所需压缩空气 不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)
安装面积 W3500mm×D5500mm×H3000mm
总重量 5600kg
BSC-1900
所需电力 约150kW(最大电力)
所需冷却水 约250L/min
所需压缩空气 不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)
安装面积 W6,200mm×D6,200mm×H6,500mm
总重量 约24000kg

有关BSC系列的咨询

※产品规格如因提高性能之需而变更,恕不提前通知。详情请向本公司营业人员咨询。