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产品介绍

连续式真空镀膜机【CES系列】

CES系列是可以生产优质光学薄膜的连续式真空镀膜机,具备极高的再现性。
安装了增添多种技术的元件,可以进行各种用途的成膜。
备有丰富多彩的机型,可以满足客户的需求。
这是一款拥有500多台销售业绩的SHINCRON推荐装置。

优点

LINE UP

CES系列有以下3种机型。

系统构成

基片伞架 球状伞架(Φ650.Φ720.Φ950.Φ1200.Φ1400.Φ1850)、锥形伞架、平板夹具、反转夹具
光学式膜厚计 OPM-Z1
水晶式膜厚计
(可选择)
XTC/3S、IC/6
电脑系统 SDC-I
蒸发源 电子枪方式、电阻加热方式
坩埚 颗粒坩埚、块状坩埚
离子源 NIS-120、离子束辅助镀膜、离子束清洗
各种材料自动补充机构  
防水处理机构  

设备性能

CES系列与间歇式蒸镀装置相比,具有以下优点。

  连续式装置 单槽式装置
生产节拍时间 ※1 3滚/小时 1滚/小时
维修周期 ※2 1次/约48小时 1次/约1小时
气泡(污染)发生率 ※3 1 3〜5
分光特性的不合格率 ※4 不超过1.0% 3.0%〜
※1: 塑料基片、加热温度70℃、成膜时间约为15分钟。
※2: 此处的维修是指在通大气时去除附着在蒸镀室内的蒸镀物、补充试样等。
※3: 在进行同一维修的环境中成膜时,将连续装置的发生率视为1。
※4: 对于塑料眼镜用5层W型AR膜的分光特性(规格:W中心波长510±10nm)的不合格率。
以上是与本公司制造的单槽式装置的对比结果。规格不同,数值稍有差异。

安装条件

CES-3S-1050
所需电力 三相 200V±10% 约90kW(最大电力)
所需冷却水 约170L/min、18〜25℃(标准20℃)
所需压缩空气 不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)
安装面积 W7000mm×D6500mm×H3850mm,顶棚高度不低于4150mm
总重量 约11000kg

有关CES系列的咨询

※产品规格如因提高性能之需而变更,恕不提前通知。详情请向本公司营业人员咨询。