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产品介绍

元件型号非常齐全,可以建立更加良好的生产环境。

HD系列[油扩散泵]

本公司自主研发的高性能油扩散泵。体积比传统的圆筒型泵小,耗电量为传统产品的60%〜70%。回油量较少,备有泄油口、换油口、油位表、小脚轮,维修作业简便易行。

TMH系列[低温泵]

使入射极低温冷却的人字形挡板和低温阵列的气体分子原封不动地凝缩、吸附、排放的泵。凝缩排放水蒸气、氧气、氮气、氩气等。排放水蒸气的能力很强,即使是塑料等吸水性很强的基片,也可以获得稳定的生产率。还可以进行全自动运转,适用于大型生产设备。

MFC系统[质量流控制器]

一边保持一定的气体流量一边导入真空槽的装置。标准配置了遥控电路,可以自动应对。利用软启动动作来防止逸出。

HL-14[卤素灯加热器]

在真空装置内部使用的小型加热器。凭借卤素灯的出色热效率和采用抗氧化的陶瓷反射板,可以迅速得到均匀的升温效果。还可以通过SCR控制来保持一定的加热温度

有关元件的咨询

※产品规格如因提高性能之需而变更,恕不提前通知。详情请向本公司营业人员咨询。