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产品介绍

内置式RF(Radio Frequency)激励型离子源 NIS-175

NIS-175 优点

  • 可以得到1.2A级大电流。
  • 采用了无极放电结构,基本上不会产生污垢。
  • 采用了无灯丝结构,可以长时间连续运转。
  • 采用了RF自动选配机构,可以稳定放电。
  • 可以大幅度缩短维修时间。

内置式RF(Radio Frequency)激励型离子源 NIS-175

NIS-120 优点

  • 耗电低输出高。
  • 减低杂质的生成。
  • 离子电流分布均一。
  • 电流密度分布变动少。
  • 增加中和器的寿命。
  • 提高维护性能。

规格

  NIS-175 NIS-120
离子化方式 RF激励型 RF激发型
离子束直径 175mm 120mm
电极形状 伞架型 伞架型
离子能量 100〜1000eV 100〜1000eV
离子总电流 1200mA 550mA
外径 Φ310 * H210 Φ200 * H670
中和器电流 最大2000mA 最大1000mA

有关离子源的咨询

※产品规格如因提高性能之需而变更,恕不提前通知。详情请向本公司营业人员咨询。