SHINCRON Co.,Ltd. > 产品介绍 > 产品一览 > PMC

产品介绍

双槽式高功能金属用镀膜装置 PMC系列

PMC系列大幅度提高了SAW滤光片等用膜质的稳定性。
可以最大限度地提高铝(Al-Cu合金)膜的品质。

优点

LINE UP

系统构成

基片伞架 平板型(Φ570)
膜厚控制 水晶式膜厚计
电脑系统 专用控制系统(成膜数据转发系统可以使用)
蒸发源 电子枪方式
坩埚 配置大型坩埚
离子源 利用离子轰击功能清洗基片

设备性能

排气时间 达到5×10-5Pa不超过15分钟(室温)
极限真空压 不超过9×10-6Pa
基片加热温度 常用70℃
膜厚分布 另议

安装条件

PMC-600
所需电力 三相 200V 35kW(最大电力)
所需冷却水 约35L/min、18〜25℃(标准20℃)
所需压缩空气 不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)
安装面积 W3000mm×D3800mm×H2500mm,顶棚高度不低于2800mm
总重量 约2250kg
PMC-800
所需电力 三相 200V 47kW(最大电力)
所需冷却水 约35L/min、18〜25℃(标准20℃)
所需压缩空气 不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)
安装面积 W4300mm×D3800mm×H2500mm,顶棚高度不低于2800mm
总重量 约4000kg

有关PMC系列的咨询

※产品规格如因提高性能之需而变更,恕不提前通知。详情请向本公司营业人员咨询。