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产品介绍

RAS

双槽式溅射成膜装置 RAS series

系采用了本公司自主研发的RAS法(Radical Assisted Sputtering:激化辅助溅镀法),实现了在低温下以良好的再现性制造波长稳定的高品质光学薄膜,以及包括装饰膜在内的功能性薄膜、氮化膜等。所需设置面积少且环保,是具有高产能的双槽式溅射镀膜设备。