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シーケンサ（μT、V8、C500、C1000H、C2000H）
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水晶式膜厚計（XTC/2）
水晶式膜厚計（IC6000)
光電式膜厚計（OPM-1、OPM-4、OPM-6、OPM-7）
ポリコールドチラー（PCTタイプ）
スパッタコントローラ（システム34）
ＶＡＴバルブコントローラ （640VC-GAPN）
プログラム温調計
