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製品情報

最新型イオンアシスト蒸着装置 EPD-1350/1600

当社IAD技術の集大成とも言える、革新的な装置です。
低散乱(低HAZE)な超多層膜を実現します。
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ロードロック式スパッタ成膜装置 RAS-1600

RASシリーズのハイエンドモデルとして、高難度な機能膜を 簡単に、大量に、安定して生産することが出来ます。
ロボットによるフルオートメーション化も可能です。(オプション)
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ロードロック式スパッタ成膜装置 RAS-1100BII

当社独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering)方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く成膜でき、装飾膜を含む機能性薄膜、窒化膜などの成膜を実現できる中型量産用モデルです。
RAS-1100BII

ロードロック式スパッタ成膜装置 RAS-1100C

当社独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering)方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く成膜でき、装飾膜を含む機能性薄膜、窒化膜などの成膜を実現できる小型エントリーモデルです。
RAS-1100C

高速(IAD)真空薄膜形成装置 MIC-1350

MIC1350は当社がこれまでに培ってきた技術をベースに高性能、高量産性はそのままに、従来機種よりもコストパフォーマンスの向上を実現しました。
MIC-1350

連続式真空薄膜形成装置 CESシリーズ

CESシリーズは、高品位な光学薄膜を、極めて高い再現性をもって生産できる連続式真空薄膜形成装置です。
さまざまな技術が盛り込まれた多様なコンポーネントを取り付けることにより、あらゆる用途の成膜を行うことが可能です。
多彩な装置バリエーションを用意し、お客様のニーズに合わせた装置ラインナップです。
500台以上の実績を持つシンクロンおすすめの装置です。
CESシリーズ

精密真空薄膜形成装置 ACEシリーズ

ハイパフォーマンスを実現した真空薄膜形成装置の汎用性の高いスタンダードタイプです。目的にあった装置を多彩なバリエーションの中からご提案いたします。
ACEシリーズは、ガラス基板に高精度な光学多層薄膜を成膜する精密真空薄膜形成装置。お客様のニーズにお応えする多様なコンポーネントを組み合わせることにより、さらに高品質の薄膜を形成することができます。
ACEシリーズ

ハイレートスパッタ装置 BSCシリーズ

BSCシリーズは、カラーフィルタ、ガラス基板にSiO2、ITO等を多層形成する、高度なスパッタ技術と高い量産性を兼ね備えた全自動スパッタ装置です。
小規模生産用から大量生産用までニーズにお応えする多彩なラインナップを取り揃えています。
BSCシリーズ

ハイレートスパッタ装置 BMSシリーズ

最新の薄膜形成技術をスパッタ装置に盛り込み、より広い用途の薄膜形成ニーズに応えたスパッタ装置です。
BMSシリーズ

ロードロック式高機能金属用薄膜形成装置 PMCシリーズ

PMCシリーズは、SAWフィルター等への利用の際の膜質の安定性を飛躍的に高めた装置です。
アルミ(Al-Cu合金)薄膜の品質を極限まで高めることが可能です。
PMCシリーズ

光学式膜厚計 OPMシリーズ

イオン源

成膜コンピュータシステム

コンポーネント