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製品情報

ハイレートスパッタ装置 BSCシリーズ

BSCシリーズは、カラーフィルタ、ガラス基板にSiO2、ITO等を多層形成する、高度なスパッタ技術と高い量産性を兼ね備えた全自動スパッタ装置です。
小規模生産用から大量生産用までニーズにお応えする多彩なラインナップを取り揃えています。

特徴

LINE UP

シリーズには、以下の基本3タイプがあります。

システム構成

基板ドラム ドラム方式(Φ630×H330、Φ900×H760、φ1700×H1420)
コンピュータシステム SPC-8000
成膜方式 DC/RFマグネトロンによるサイドスパッタ方式
ターゲット 角型スパッタソース(ワイドエロージョン機構付き)

装置性能

性能 BSC-700 BSC-1000T BSC-1900
基板実装枚数 100mm×100mm 68枚 - -
300mm×400mm 6枚 16枚 48枚
370mm×470mm - - 26枚
400mm×500mm - - 24枚

設置条件

BSC-700
所要電力 約50kW(最大電力)
所要冷却水 約30L/min
所要圧縮空気 0.5MPaG以上最高0.7MPaG)
据付面積 W3500mm×D3600mm×H2350mm
総質量 約2200kg
BSC-1000T
所要電力 約90kW(最大電力)
所要冷却水 約72L/min
所要圧縮空気 0.5MPaG以上最高0.7MPaG)
据付面積 W3500mm×D5500mm×H3000mm
総質量 5600kg
BSC-1900
所要電力 約150kW(最大電力)
所要冷却水 約250L/min
所要圧縮空気 0.5MPaG以上最高0.7MPaG)
据付面積 W6,200mm×D6,200mm×H6,500mm
総質量 約24000kg

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※製品の仕様は、性能向上のため予告なく変更されることがございます。
詳しくは、当社営業スタッフまでお問い合わせください。