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連続式真空薄膜形成装置 CESシリーズ

CESシリーズは、高品位な光学薄膜を、極めて高い再現性をもって生産できる連続式真空薄膜形成装置です。
さまざまな技術が盛り込まれた多様なコンポーネントを取り付けることにより、あらゆる用途の成膜を行うことが可能です。
多彩な装置バリエーションを用意し、お客様のニーズに合わせた装置ラインナップです。
500台以上の実績を持つシンクロンおすすめの装置です。

特徴

LINE UP

CESシリーズには、以下の3タイプがあります。

システム構成

基板ドーム 球状ドーム(Φ650.Φ720.Φ950.Φ1200.Φ1400.Φ1850)、テーパードーム、平板治具、反転治具
光学式膜厚計 OPM-Z1
水晶式膜厚計
(オプション)
XTC/3S、IC/6
コンピュータシステム SDC-I
蒸発源 電子銃方式、抵抗加熱方式
ハース グラニュールハース、タブレットハース
イオン源 NIS-120、イオンビームアシスト、イオンビームクリーニング
各種材料自動補給機構  
撥水処理機構  

装置性能

CESシリーズは、バッチ式蒸着装置と比較し、以下の点において優れています。

  連続式装置 バッチ式装置
タクトタイム ※1 3ドーム/時間 1ドーム/時間
メンテナンスサイクル ※2 1回/約48時間 1回/約1時間
ピンホール(コンタミ)発生率 ※3 1 3〜5
分光特性の不良率 ※4 1.0%以内 3.0%〜
※1 プラスチック基板、加熱温度70℃、成膜時間を約15分とした場合。
※2 この場合のメンテナンスとは、大気開放時の蒸着室内に付着した蒸着物の除去および試料補給等を指します。
※3 同一のメンテナンスが行われている環境において成膜した場合、連続装置の発生率を1としました。
※4 プラスチックメガネ用5層 W型AR膜の分光特性(規格:W中心波長510±10nm)に対する不良率。
上記は、当社製バッチ式装置との比較です。数値は仕様によって多少異なります。

設置条件

CES-3S-1050
所要電力 3相 200V±10% 約90kW(最大電力)
所要冷却水 約170L/min、18〜25℃(標準20℃)
所要圧縮空気 0.5MPaG以上(最高0.7MPaG)
据付面積 W7000mm×D6500mm×H3850mm、天井高さ4150mm以上
総質量 約11000kg

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※製品の仕様は、性能向上のため予告なく変更されることがございます。
詳しくは、当社営業スタッフまでお問い合わせください。