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製品情報

さらに高度な生産環境構築を可能とする、
多様なコンポーネントも取りそろえています。

HDシリーズ 油拡散ポンプ

当社が独自開発した高性能油拡散ポンプ。従来の円筒型ポンプに比べて小型で、消費電力は従来品の60%~70%。オイルバック量が少なく、オイルドレン口、オイルチャージ口、オイルゲージ、キャスタを備えているので、メンテナンスも容易に行えます。

クライオポンプ

極低温に冷却されたシェブロンバッフル及びクライオアレイに入射した気体分子を、そのまま凝縮・吸着させ、排気させるポンプ。水蒸気、酸素、窒素、アルゴンなどを凝縮排気します。水蒸気の排気能力が高いので、プラスチックなど吸水性の高い基板でも安定した生産性を得ることができます。大型生産装置に対応した全自動化運転も可能です。

MFCシステム マスフローコントローラ

ガス流量を一定に保ちながら真空槽に導入する装置です。リモートコントロール回路を標準装備しているので、自動化にも対応可能。ソフトスタート動作により、オーバーシュートを防止します。

HL-14 ハロゲンランプヒータ

真空装置内部に使用する小型ヒータ。ハロゲンランプの高い熱効率と、耐酸性化のセラミック反射板の使用により、素早く均一な昇温効果が得られます。SCR制御により、一定の加熱温度に維持することも可能です。

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※製品の仕様は、性能向上のため予告なく変更されることがございます。
詳しくは、当社営業スタッフまでお問い合わせください。