株式会社シンクロン > 製品情報 > 製品一覧 > イオン源

製品情報

内部設置式RF(Radio Frequency)励起型イオン源

NIS-175 特徴

  • 1.2A級の大電流が得られます。
  • 無極放電構造のため、コンタミの発生がほとんどありません。
  • フィラメントレスにより、長時間の連続運転が可能です。
  • RF自動マッチング機構の採用により、安定した放電が得られます。
  • メンテナンス時間を大幅短縮することができます。

RF(Radio Frequency)励起型イオン源

NIS-120 特徴

  • 低消費電力で高出力です。
  • コンタミの発生をおさえています。
  • 均一なイオン電流密度分布です。
  • ニュートラライザの長寿命化を図っています。
  • メンテナンス性を向上しています。

仕様

  NIS-175 NIS-120
イオン化方式 RF励起型 RF励起型
イオンビーム直径 175mm 120mm
電極形状 ドーム型 ドーム型
イオンエネルギー 100〜1000eV 100〜1000eV
イオン総電流 1200mA 550mA
外径 Φ310 * H210 Φ200 * H670
ニュートラライザ電流 最大2000mA 最大1000mA

イオン源に関するお問い合わせはこちら

※製品の仕様は、性能向上のため予告なく変更されることがございます。
詳しくは、当社営業スタッフまでお問い合わせください。