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ロードロック式高機能金属用薄膜形成装置 PMCシリーズ

PMCシリーズは、SAWフィルター等へのアルミ蒸着の際、膜質の安定性を飛躍的に高めた装置です。
アルミ(Al-Cu合金)薄膜の品質を極限まで高めることが可能です。

特徴

LINE UP

システム構成

基板ドーム 平板型(Φ570)
膜厚制御 水晶式膜厚計
コンピュータシステム 専用制御システム(成膜データー転送システム対応)
蒸発源 電子銃方式
ハース 大型ルツボ搭載
イオン源 イオンボンバード機能による基板クリーニング

装置性能

排気時間 5×10-5Paまで15分以内(室温)
到達真空圧 9×10-6Pa以下
基板加熱温度 常用70℃
膜厚分布 別途相談

設置条件

PMC-600
所要電力 3相 200V 35kW(最大電力)
所要冷却水 約35L/min、18〜25℃(標準20℃)
所要圧縮空気 0.5MPaG以上(最高0.7MPaG)
据付面積 W3000mm×D3800mm×H2500mm、天井高さ2800mm以上
総質量 約2250kg
PMC-800
所要電力 3相 200V 47kW(最大電力)
所要冷却水 約35L/min、18〜25℃(標準20℃)
所要圧縮空気 0.5MPaG以上(最高0.7MPaG)
据付面積 W4300mm×D3800mm×H2500mm、天井高さ2800mm以上
総質量 約4000kg

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※製品の仕様は、性能向上のため予告なく変更されることがございます。
詳しくは、当社営業スタッフまでお問い合わせください。