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製品情報

RAS

ロードロック式スパッタ成膜装置 RASシリーズ

独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering)方式により、波長シフトのない高品質な光学薄膜をはじめ、装飾膜を含む機能性薄膜、窒化膜なども、低温で再現性良く実現でき、少ない設置面積で、環境に配慮し、生産性に優れたロードロック式スパッタ装置です。