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製品情報

Windows版自動蒸着システム SDC-I

特徴

自動蒸着の動作フロー

装置仕様例

データ登録総数 1000層/1000件
データ登録容量 1GB
膜厚制御方法 ピーク制御
比率制御(B/A制御)
絶対値制御
物理膜厚制御(水晶膜厚計)
時間制御
コンポーネント制御 蒸発源制御
水晶レートコントロール制御
基板クリーニング制御
イオンアシスト制御
イオンプレーティング制御
ガス制御
蒸着外機能 試料溶かし込み機能(2ガン同時溶かし込み可能、蒸着動作へ連続実行可能)
メンテナンス時間管理機能
蒸着データロギング機能

Windows版自動スパッタシステム SSC-I

特徴

自動スパッタ成膜の動作フロー

装置仕様例

データ登録総数 1000層/1000件
データ登録容量 1GB
膜厚制御方法 時間制御
コンポーネント制御 各種電源制御
前処理制御
ガス制御
成膜外機能 試料溶かし込み機能(2ガン同時溶かし込み可能、蒸着動作へ連続実行可能)
プレスパッタ機能
The Essential Macleodで設計したデータの読み込み機能
成膜データロギング機能

光学薄膜計算用ソフトウェア The Essential Macleod for Windows

特徴

成膜コンピュータシステムに関するお問い合わせ

※製品の仕様は、性能向上のため予告なく変更されることがございます。
詳しくは、当社営業スタッフまでお問い合わせください。