多層な光学薄膜を設計する上でより高い屈折率が必要となりTiO
2
の成膜が多くの技術者が待ち望んでいました。シンクロンでは独自の技術開発によりTiO
2
の成膜がRASシリーズでも実現しました。 RASシリーズはお客様が要望される課題に挑み続けています。
高い屈折率が光学ロスを少なく得られる。
RAS TiO
2
薄膜の光学定数の波長分散特性
RAS TiO
2
薄膜の断面SEM像
バッチ間の再現性が高い。
42層RAS TiO
2
/SiO
2
で作製したUV-IR cutフィルタの
光学特性の連続3バッチ再現性
波長シフトが起こりにくく安定した性能を持つ。
29層RAS TiO
2
/SiO
2
フィルタの耐環境安定性(純水煮沸1時間)