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シンクロンの技術

真空薄膜形成と装置

真空教室
次代のスタンダードを創造するために…光学薄膜ソリューションの新発想に挑み続けています。
RASシリーズでTiO2の成膜を実現しました。
多層な光学薄膜を設計する上でより高い屈折率が必要となりTiO2の成膜が多くの技術者が待ち望んでいました。シンクロンでは独自の技術開発によりTiO2の成膜がRASシリーズでも実現しました。 RASシリーズはお客様が要望される課題に挑み続けています。
特長1  高い屈折率が光学ロスを少なく得られる。

RAS TiO2薄膜の光学定数の波長分散特性
RAS TiO2薄膜の光学定数の波長分散特性
RAS TiO2薄膜の断面SEM像
RAS TiO2薄膜の断面SEM像
特長2  バッチ間の再現性が高い。

42層RAS TiO2/SiO2で作製したUV-IR cutフィルタの光学特性の連続3バッチ再現性
42層RAS TiO2/SiO2で作製したUV-IR cutフィルタの
光学特性の連続3バッチ再現性
特長3  波長シフトが起こりにくく安定した性能を持つ。

29層RAS TiO2/SiO2フィルタの耐環境安定性(純水煮沸1時間)
29層RAS TiO2/SiO2フィルタの耐環境安定性(純水煮沸1時間)
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