シンクロンと中国科学技術大学の共同研究室は、クリーンエネルギー源として注目される固体酸化物燃料電池(SOFC)の構造要素である電解質膜の生産にシンクロンの特許技術であるRadial Assisted Sputterを応用し、「薄膜型」電解質膜の開発に成功しました。真空成膜技術の活用により、従来の生産方法では不可能であった電解質膜の緻密性・均一性が飛躍的に高まり、低温で効率の高いSOFCの実現に向け大きく前進しました。


1.大面積均一膜
2.ナノスケールで膜構造と組成制御
3.膜厚制御精度0.5nm以上
4.低温プロセスで良好な界面結合
5.量産化技術　RAS-1100C×1台で年間生産能力7MW

　1.基板：NiO-YSZ
　2.膜厚：10μm
　3.結晶構造：立方晶、蛍石構造
　4.ASR＝ 0.08 Ω cm @750 ℃
　5.膜厚均一性：＜±1%
　6.緻密性：セル実機検査OCV ＞ 1.0V

　1.OCV：1.01 V @750 ℃
　2.最大出力：＞0.6 W/cm²@750 ℃
　3.評価実験ガス：H₂/Air