双槽式溅射成膜装置 RAS series

系采用了本公司自主研发的RAS法(Radical Assisted Sputtering：激化辅助溅镀法)，实现了在低温下以良好的再现性制造波长稳定的高品质光学薄膜，以及包括装饰膜在内的功能性薄膜、氮化膜等。所需设置面积少且环保，是具有高产能的双槽式溅射镀膜设备。