模具离型膜用溅射设备

适用于研究开发及小规模生产
特点
- 可用于金属薄膜、
电介质薄膜等广泛用途 - 安装体积小巧,
也适合用于研究开发
规格概要
| 型号 | BMS-650 | BMS-800 |
|---|---|---|
| 基片伞架 | 平板及伞型公转夹具 | |
| 溅射电源 | 圆型靶 | |
| 清洗 | 离子束清洗 | |
| 排气系统 | 粗抽单元、低温泵 | |
垂询
我们将提供满足功能和应用等
方面需求的设备方案。
欢迎垂询。
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| 型号 | BMS-650 | BMS-800 |
|---|---|---|
| 基片伞架 | 平板及伞型公转夹具 | |
| 溅射电源 | 圆型靶 | |
| 清洗 | 离子束清洗 | |
| 排气系统 | 粗抽单元、低温泵 | |