技术信息 为了创造新一代的标准……不断向光学薄膜解决方案的新创意发起挑战。 1. 前言 2. 利用真空制作薄膜的历史 3. 真空的基础 4. 等离子 5. 物理蒸镀法(PVD)的各种成膜方法 6. PVD设备的实况 7. 化学气相沉积法(CVD) 的各种成膜方法与设备 8. 利用真空的薄膜 9. SHINCRON成膜设备的成膜案例与用途 10. 薄膜制造的要点 11. 薄膜形成设备的保养 12. 结语