树脂用单槽式蒸镀设备
数码相机及智能手机摄像头等树脂镜头成膜的最佳选择
- 用途：
- 光学
特点
- 采用分割伞架，
一次可实现大量镜头成膜 - 采用最适合用于低温成膜的基片加热方式，同时还实现将塑料释放出水分的影响降到最低
规格概要
| 型号 | ARC-900 | ARC-1350 | ARC-1650 | ARC-1900 |
|---|---|---|---|---|
| 基片伞架 | ⌀ 800 mm | ⌀ 1200 mm | ⌀ 1500 mm | ⌀ 1700 mm |
| 膜厚仪 | 光学膜厚仪/石英晶体膜厚仪（6点旋转传感器） | |||
| 蒸发源 | EB×1 | |||
| 辅助 | 射频离子源 | |||
| 排气系统 | 粗抽单元、涡轮分子泵、迈斯纳阀 | |||
| 可选配件 | 反转机构、行星旋转机构、自公转机构 | |||
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