透明电极、金属电极用溅射设备
应用于各种电极成膜
- 用途：
- 电子、电气的控制
特点
- 可实现低电阻电极成膜
- 可实现电介质与金属的多层结构
规格概要
| 型号 | BSC-700 | BSC-1000 | BSC-1900 |
|---|---|---|---|
| 滚筒尺寸 | ⌀ 630 mm×H 330 mm | ⌀ 900 mm×H 760 mm | ⌀ 1,700 mm×H 1,420 mm |
| 溅射源 | 5”×27”×1 | 5”×42”×2 | 5”×65”×4 |
| 排气系统 | 粗抽单元/低温泵/涡轮分子泵 | ||
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