电介质超级多层膜用设备
低散射的超多层膜镀膜专用设备
- 用途：
- 光学
在TiO2/SiO2 282层33μm的多层膜中，抑制了粗糙不平，“实现低Haze”。
特点
- 实现低散射（低Haze）的超级多层膜
- 采用多门方便维护
规格概要
| 型号 | EPD-1350 | EPD-1600 |
|---|---|---|
| 基片架 | ⌀ 1,200 mm | ⌀ 1,450 mm |
| 膜厚仪 | 光学膜厚仪、石英晶体膜厚仪（6点旋转传感器） | |
| 蒸发源 | EB x2 | |
| 辅助 | 射频离子源 | |
| 排气系统 | 粗抽单元、涡轮分子泵、迈斯纳线圈 | |
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