可以稳定折射率，使折射率分布变得均匀。实现具有优良耐环境性能的成膜。
- 用途：
- 元件
规格概要
| 型号 | NIS-120 | NIS-175 | NIS-240 |
|---|---|---|---|
| 离子束直径（mm） | 120 | 175 | 240 |
| 离子能量（eV） | 100～1000 | 100～1500 | 100～1500 |
| 最大离子电流（mA） | 550 | 1200 | 3000 |
| 最大中和器电流（mA） | 1000 | 2000 | 3000 |
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