金属膜用预真空进样室式蒸镀设备
广泛用作电极用成膜设备的高性能设备
- 用途：
- 电子、电气的控制
广泛用作电子装置的电极用成膜设备。
尤其是作为SAW滤光片的IDT（Interdigital Transducer）用电极，有望为5G的普及作出贡献。
特点
- 可实现高取向性的Al、 AlCu成膜
- 可形成接近体块折射率的金属膜
- 可形成表面粗糙度低且无突起的薄膜
- 具备剥离工艺(Lift-off)成膜最佳基片入射角的设计
PMC用 自动晶圆移载机器人
可选配件可以采用能够自动装卸晶圆的机器人。
可以安装四个料盒，晶圆能够从成膜完成后排出的托盘自动进行装卸。减少人力、灰尘、降低晶圆破损率等，实现合理化。
规格概要
| 型号 | PMC-800-2S | PMC-800-2M | PMC-800-2MS |
|---|---|---|---|
| 基片伞架 | ⌀ 650 mm | ||
| 膜厚计 | 石英晶体膜厚计 | ||
| 蒸发源 | EB×1 | ||
| 辅助 | – | ||
| 排气系统 | 干泵/低温泵/涡轮分子泵 | ||
| 可选配件 | 轰击/SEMI/GEM标准界面 | ||
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我们将提供满足功能和应用等
方面需求的设备方案。
欢迎垂询。
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