金属用单槽式蒸镀设备
通过离子源的预处理，降低了接触电阻
- 用途：
- 电子、电气的控制
用于形成各种连接端子、电极等金属薄膜的单槽式蒸镀设备。
可稳定地大规模生产金属薄膜。
主要用途
- SAWFilter/LED/PA/计时设备 等
规格概要
| 型号 | SIC-900 | SIC-1350 | SIC-1650 |
|---|---|---|---|
| 基片伞架 | ⌀ 800 mm | ⌀ 1200 mm | ⌀ 1500 mm |
| 膜厚仪 | 石英晶体膜厚仪（旋转式传感器） | ||
| 蒸发源 | EB×1 | ||
| 基片清洁 | 射频离子源 | ||
| 排气系统 | 干泵/低温泵 | ||
| 可选配件 | SEMI/GEM标准界面 | ||
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