重要通知
关于确保手动操作电子枪坩埚旋转机构时的安全性
2012.10.29
事例
更换蒸镀药品过程中,手指可能被夹在旋转中的坩埚和电子枪极片之间导致受伤。
对策
1.更换蒸镀药品、清洁蒸发源周边等时,请先确认坩埚旋转机构已完全停止然后再进行。
2.用手动开关旋转坩埚时,为避免手指被夹住或袖口被卷入,请与坩埚旋转机构保持足够的距离再按开关。
【变更控制系统】
作为手动操作坩埚旋转机构时更加安全的对策,也可以变更控制系统。
2012.10.29
更换蒸镀药品过程中,手指可能被夹在旋转中的坩埚和电子枪极片之间导致受伤。
1.更换蒸镀药品、清洁蒸发源周边等时,请先确认坩埚旋转机构已完全停止然后再进行。
2.用手动开关旋转坩埚时,为避免手指被夹住或袖口被卷入,请与坩埚旋转机构保持足够的距离再按开关。
【变更控制系统】
作为手动操作坩埚旋转机构时更加安全的对策,也可以变更控制系统。