关于确保手动操作电子枪坩埚旋转机构时的安全性

事例

更换蒸镀药品过程中，手指可能被夹在旋转中的坩埚和电子枪极片之间导致受伤。

对策

1.更换蒸镀药品、清洁蒸发源周边等时，请先确认坩埚旋转机构已完全停止然后再进行。

2.用手动开关旋转坩埚时，为避免手指被夹住或袖口被卷入，请与坩埚旋转机构保持足够的距离再按开关。

【变更控制系统】
作为手动操作坩埚旋转机构时更加安全的对策，也可以变更控制系统。