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新商品News 高精度な結晶性薄膜を実現する次世代スパッタリング装置
2025.05.28
高精度な結晶性薄膜を実現する次世代スパッタリング装置 SCP-SX をご紹介します。
SCP-SXは、低温で高品質な結晶性薄膜を成膜できるスパッタリング装置です。位置と傾斜角度を調整できる独自構造のカソードにより、
さまざまな材料や基板に対して最適な成膜条件を実現します。このシステムは、材料開発やプロセス探索において大きな利点となります。
研究開発における精密なプロセス調整や材料ごとの最適化に加え、開発から量産へのシームレスなスケーリングにも対応可能なクラスタプラット
フォーム構成が利用できます。