技術情報 次代のスタンダードを創造するために・・・光学薄膜ソリューションの新発想に挑み続けています。 1. はじめに 2. 真空を利用した薄膜形成の歴史 3. 真空についての基礎 4. プラズマ 5. 物理蒸着法(PVD)の各種成膜方法 6. PVD装置の実際 7. 化学気相成長法(CVD)の各種成膜方法と装置 8. 真空を利用した薄膜 9. シンクロンの成膜装置の成膜例と用途 10. 薄膜作成のポイント 11. 薄膜形成装置のメンテナンス 12. おわりに