樹脂用バッチ式蒸着装置
デジカメやスマホカメラ等の樹脂レンズ成膜に最適
- 用途：
- 光学
特徴
- 分割ドームを用いて、
一度に大量のレンズを
成膜することができます - 低温成膜に最適な基板加熱方式を採用するとともに、プラスチックから放出される水分の影響を抑える配慮がなされています
仕様概要
| 型式 | ARC-900 | ARC-1350 | ARC-1650 | ARC-1900 |
|---|---|---|---|---|
| 基板ドーム | Φ800mm | Φ1200mm | Φ1500mm | Φ1700mm |
| 膜厚計 | 光学式膜厚計/水晶式膜厚計（6点ロータリーセンサ） | |||
| 蒸発源 | EB×1 | |||
| アシスト | RFイオン源 | |||
| 排気システム | あらびきユニット・ターボ分子ポンプ・マイスナトラップ | |||
| オプション | 反転機構・遊星回転機構・自公転機構 | |||
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