金型離型膜用スパッタ装置

研究開発や小規模生産に

特徴

  1. 金属薄膜や誘電体薄膜など
    幅広い用途にお使いいただけます
  2. コンパクトに設置できるため、
    研究開発用途にも適しています

仕様概要

型式 BMS-650 BMS-800
基板ドーム 平板及びドーム型公転治具
スパッタ源 丸型ターゲット
クリーニング イオンビームクリーニング
排気システム あらびきユニット・クライオポンプ
お問い合わせ
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営業部
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※製品の仕様は、性能向上のため予告なく変更されることがございます。詳しくは、当社営業スタッフまでお問い合わせください。