金型離型膜用スパッタ装置
研究開発や小規模生産に
特徴
- 金属薄膜や誘電体薄膜など
幅広い用途にお使いいただけます - コンパクトに設置できるため、
研究開発用途にも適しています
仕様概要
| 型式 | BMS-650 | BMS-800 |
|---|---|---|
| 基板ドーム | 平板及びドーム型公転治具 | |
| スパッタ源 | 丸型ターゲット | |
| クリーニング | イオンビームクリーニング | |
| 排気システム | あらびきユニット・クライオポンプ | |
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