透明電極、金属電極用スパッタ装置
様々な電極の成膜に用いられています
- 用途：
- 電子、電気の制御
特徴
- 低抵抗な電極が成膜できます
- 誘電体と金属の
多層構造が可能です
仕様概要
| 型式 | BSC-700 | BSC-1000 | BSC-1900 |
|---|---|---|---|
| ドラムサイズ | Φ630mm×H330mm | Φ900mm×H760mm | Φ1700mm×H1420mm |
| スパッタ源 | 5”×27”×1 | 5”×42”×2 | 5”×65”×4 |
| 排気システム | あらびきユニット/クライオポンプ/ターボ分子ポンプ | ||
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