連続式蒸着装置
安定性・量産性に優れたロングセラー機
- 用途：
- 光学
蒸着室を成膜のたびに大気にさらすことなく、成膜プロセス室を常に高真空に保つことが可能。
そのため、屈折率が安定し、高品位な光学薄膜を極めて高い再現性をもって生産することができます。
クリーンルーム対応のMタイプ、多品種対応のDタイプと、多彩なラインナップをご用意しています。
特徴
- 蒸着室を真空状態のまま
保持するため、屈折率が安定し、
高品質な成膜が可能です - 成膜・排気・加熱・リークを
別チャンバーで同時実行するため、
生産性に優れています - さまざまな薬品に対応し、
給材機構を備え、
多種多様な成膜を
連続で行うことができます - ドーム投入→成膜→ドーム取り出し
まで自動化されており、
省人化対応が可能です
連続式蒸着装置 CESのご紹介
主な用途
- 反射防止膜
- カメラレンズ、眼鏡レンズ、スマートフォンレンズ
仕様概要
| 型式 | Mタイプ CES-3M | Sタイプ CES-3S | Dタイプ CES-3D | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1100 | 1350 | 2000 | 900 | 1050 | 900 | 1100 | 1350 | |
| 基板ドーム | Φ950mm | Φ1200mm | Φ1850mm | Φ718mm | Φ950mm | Φ718mm | Φ950mm | Φ1200mm |
| 膜厚計 | 光学式膜厚計・水晶式膜厚計（6点ロータリーセンサ） | |||||||
| 蒸発源 | EB×2 | |||||||
| アシスト | RFイオン源 | |||||||
| 排気システム | あらびきユニット/拡散ポンプ/ターボ分子ポンプ | |||||||
| オプション | クライオポンプ/撥水膜成膜機構 | |||||||
お問い合わせ
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お気軽にお問い合わせください。
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営業部
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