誘電体超多層膜用装置
低散乱な超多層膜形成のための専用機
- 用途：
- 光学
TiO2/SiO2 282層33μmの多層膜において、ラフネスを抑え「低Hazeを実現」。
特徴
- 低散乱（低Haze）な
超多層膜を実現 - 複数の扉により
メンテナンス性を向上
仕様概要
| 型式 | EPD-1350 | EPD-1600 |
|---|---|---|
| 基板ホルダ | Φ1200mm | Φ1450mm |
| 膜厚計 | 光学式膜厚計・水晶式膜厚計（6点ロータリーセンサ） | |
| 蒸発源 | EB x2 | |
| アシスト | RFイオン源 | |
| 排気システム | あらびきユニット・ターボ分子ポンプ・マイスナトラップ | |
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営業部
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