屈折率を安定させ、屈折率分布を均一化させることができます。耐環境特性に優れた成膜が可能です。
- 用途：
- コンポーネンツ
仕様概要
| 型式 | NIS-120 | NIS-175 | NIS-240 |
|---|---|---|---|
| イオンビーム直径（mm） | 120 | 175 | 240 |
| イオンエネルギー（eV） | 100～1000 | 100～1500 | 100～1500 |
| 最大イオン電流（mA） | 550 | 1200 | 3000 |
| 最大ニュートラライザ電流（mA） | 1000 | 2000 | 3000 |
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