汎用蒸着装置
幅広い成膜ニーズに対応
- 用途：
- 光学色の制御
光学薄膜から金属膜まで、成膜に関する幅広い要求に対応できる、汎用性の高い蒸着装置です。高水準の性能や量産性はそのままに、新機種ではコストパフォーマンスのさらなる向上を実現しています。球状ドーム、分割ドーム、反転パレット仕様等、様々な基板用途に対応する豊富なオプションをご用意しており、お客様の生産目的に合わせてお選びいただけます。
特徴
- 大口径高出力イオン源を
採用し、
アシスト成膜が可能 - 正確な制御を実現する
光学薄膜厚計、
多点モニタ交換機構を採用 - ターボ分子ポンプにより、
オイルフリーでクリーンな
環境下で成膜可能 - 排気、プロセス中に発生する
パーティクル対策が
施されています - 稼働管理システムを搭載、
リアルタイムでの状況把握や
ロスの解析等にご利用頂けます - in-situモニタを採用、
歩留まり向上や
調整期間の短縮が可能
主な用途
- 光学薄膜の形成
- 金属膜の形成
- その他、幅広い用途に対応
仕様概要
| 型式 | MIC-900 | MIC-1350 | MIC-1650 | MIC-1900 |
|---|---|---|---|---|
| 基板ドーム | Φ800mm | Φ1200mm | Φ1500mm | Φ1700mm |
| 膜厚計 | 光学式膜厚計・水晶式膜厚計（6点ロータリーセンサ） | |||
| 蒸発源 | EB×2 | |||
| アシスト | RFイオン源 | |||
| 排気システム | あらびきユニット・ターボ分子ポンプ・マイスナートラップ | |||
| オプション | 反転機構/遊星回転機構/自公転機構/分光特性調整支援システム OASYS | |||
お問い合わせ
機能や用途などご要望に適した装置を
ご提案いたします。
お気軽にお問い合わせください。
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営業部
※製品の仕様は、性能向上のため予告なく変更されることがございます。詳しくは、当社営業スタッフまでお問い合わせください。