研究開発向け小型多元スパッタ装置

材料探索向けスパッタ装置の最高峰

用途：

電子、電気の制御

独自開発したプログラマブルデジタル制御器のもと、多元スパッタ源を複合的に制御できるDPDRS（Digitally Processed DC Reactive Sputtering）技術を採用した研究開発向け小型多元スパッタ装置 PRAS（Programmable – RAS)。

多元スパッタ源と共に反応ガスをプログラマブルに組み合わせることで時分割式高速反応性DCスパッタによる複合金属化合物積層薄膜形成を実現。

これまでにない反応性DCパルススパッタにより、原子層レベルのナノ構造機能性薄膜開発を加速。