金属膜用ロードロック式蒸着装置
電極用成膜装置として広く採用されている高機能機
- 用途：
- 電子、電気の制御
電子デバイスの電極用成膜装置として広く使用されています。
特にSAWフィルターのIDT（Interdigital Transducer）用電極として5Gの普及に寄与することが期待されています。
特徴
- 配向性の高い
Al, AlCuの成膜が可能 - バルクに近い屈折率の
金属膜成膜が可能 - 表面粗さが小さく
ヒロックレスな薄膜の成膜が可能 - リフトオフ成膜に最適な
基板入射角を有した設計
PMC用 自動ウエハ移載ロボット
オプションにてウエハの自動脱着が可能になるロボットの採用が可能です。
4カセットをセットでき、成膜完了後に排出されたトレイから自動でウエハをULD/LDが可能です。省人、省塵、ウエハ破損率の低減など合理化が可能です。
仕様概要
| 型式 | PMC-800-2S | PMC-800-2M | PMC-800-2MS |
|---|---|---|---|
| 基板ドーム | Φ650mm | ||
| 膜厚計 | 水晶式膜厚計 | ||
| 蒸発源 | EB×1 | ||
| アシスト | – | ||
| 排気システム | ドライポンプ/クライオポンプ/ターボ分子ポンプ | ||
| オプション | ボンバード/SEMI/GEM準拠インターフェース | ||
お問い合わせ
機能や用途などご要望に適した装置を
ご提案いたします。
お気軽にお問い合わせください。
ご提案いたします。
お気軽にお問い合わせください。
営業部
※製品の仕様は、性能向上のため予告なく変更されることがございます。詳しくは、当社営業スタッフまでお問い合わせください。