大型基板用スパッタ装置
RASシリーズ最高の生産性を誇る最新機種
- 用途：
- 表面の制御色の制御
RASシリーズ史上最高の生産性を実現することを目的に開発された装置です。
ドラムの大型化と装置のコンパクト化の両立を実現させた、面積生産性の面で非常に優れた装置です。
RAS-2200は、これまで培った弊社RAS技術を最大限生かし、光学薄膜の世界に、新たなメリットを提供します。
特徴
- 大型ドラム採用により、
基板搭載量の向上や大型基板の
成膜対応が可能です - 独自開発のロードロック式基板ホルダー搬送方式により、タクトタイムの無駄を最大限削減します
- 抵抗加熱蒸着源を追加し、
反射防止膜と防汚膜の
一貫成膜を行うことができます - 曲面形状基板への
成膜対応が可能です - コンパクトな設計により、
メンテナンス性を向上させました
主な用途
- 反射防止膜、硬質膜、加飾膜、各種光学フィルター等
- 車載、スマホ等のディスプレー用カバーガラス
- スマホ等のカメラ用カバーガラス
仕様概要
| 基板ドラムサイズ | φ1800 x 1500mm |
|---|---|
| ラジカル源 | ICP RFラジカル源 x3基 |
| スパッタ源 | Dual Cathode 68″ Rotary cathode |
| 排気システム | 【CH-1】あらびきユ ニット 【CH-2】14 インチTMP x 6、マイスナトラップ、あらびきユニット |
| オプション | AFS機構・CH-2、基板加熱機構・CH-1 |
お問い合わせ
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お気軽にお問い合わせください。
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営業部
※製品の仕様は、性能向上のため予告なく変更されることがございます。詳しくは、当社営業スタッフまでお問い合わせください。