誘電体多層膜用ロードロック式スパッタ装置
誘電体多層膜を主とした電子デバイス市場向けに高機能化
- 用途：
- 電子、電気の制御
当社RAS方式を電子デバイス向けに発展さ せ、高機能化しました。
高周波デバイスの高機能化/高周波化要求に対応しました。
特徴
- TC(Temperature Compensated)-SAW に必要な温度補償膜のデファクトスタンダード装置
- 更なる高周波化に向けSMR(Solid Mounted Resonator)の音響反射器用薄膜形成装置としても期待されています
協力：千葉大学 橋本教授
仕様概要
| 型式 | SLS-18 | SLS-27 |
|---|---|---|
| 基板ドラムサイズ | Φ1100mm×230mm | Φ900mm×400mm |
| ラジカル源 | ICP RF電源 | |
| スパッタ源 | Dual cathode・18”×5”Planer cathode | Dual cathode・27”×5”Planer cathode |
| 排気システム | 【CH-1】あらびきユニット 【CH-2】14インチTMP×2 マイスナトラップ あらびきユニット |
【CH-1】あらびきユニット 【CH-2】14インチTMP×4 マイスナトラップ あらびきユニット |
| オプション | OPM-Z1/Rotary cathode/CH-1ターゲット/Bias機構/SEMI/GEM準拠インターフェース | |
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