真空薄膜形成装置の停止に関して

事例

装置のメインブレーカを長時間切った場合、起動しないことがあります。

原因

装置にはシーケンサやタッチパネル等バックアップ電池によりソフトを保持しているものがあります。バックアップ電池が劣化している場合、ソフトが消失してしまうおそれがあります。

対策

装置のメインブレーカを切る場合はバックアップ電池を交換してください。
装置を再起動できない場合、当社までご連絡ください。