电子和电气
电子和电气
高频滤波器
手机所代表的移动通讯设备的电波收发，采用了利用声表面波（SAW）和体声波BAW（Bulk Acoustic Wave）的射频滤波器。
Al, AlCu膜的取向性
TC-SAW的横截面SEM图像（协助：千叶大桥本教授）
SAW滤波器的结构是在压电基片的表面形成梳状电极IDT（Interdigital Transducer），利用IDT激发的声表面波的共振特性来形成射频滤波器的带宽。
作为支持更高频率的技术，还有利用体声波（BAW）的射频滤波器。
BAW的结构为上下电极之间夹有压电材料，是一种利用厚度纵向振动的滤波器。
利用BAW谐振的射频滤波器可以实现具有高陡度的良好滤波特性。
BAW器件包括FBAR（Film Bulk Acoustic Resonator）和SMR（Solidly-Mounted Resonator）。
形成金属电极
可根据金属物质材料的种类和特性等，形成具有所需功能的电极膜。电子部件中的被动/能动元件采用Au / Al / Cu / Ti等金属作为焊盘电极，可以将这些金属和元件的布线接触电阻降至最低。
形成透明电极
同时满足既要导电又具备透光的透明度这两个要求的，就是透明导电膜。其由氧化铟和氧化锡的混合物ITO成膜（因此也被称为“ITO膜”），实现了丰富多彩的功能，包括用于触摸屏显示器的“抗静电”和“透明电极”以及用于新一代太阳能电池的“透明电极”等。还被用于防止结露和积雪的透明加热器等。
| 实验No. | Sample 1 | Sample 2 |
|---|---|---|
| 电阻值[Ω] | 2.03 | 24.7 |
| 薄膜电阻[Ω/□] | 9.09 | 110.61 |
| 膜厚[nm] | 145.9 | 16.4 |
| 比电阻[Ω・cm] | 1.33E-04 | 1.81E-04 |
新能源
从氢气等燃料和氧气反应产生的化学能量中提取电能的燃料电池也好，将电解质固化的全固态电池也好，在未来想要进一步提升性能的关键，在于薄膜技术。从材料探索到大规模生产，SHINCRON都能提供丰富的解决方案。
