11. 薄膜形成设备的保养

保养是为了“保持设备的可靠性”。
也就是说目的是长期保持所预期的设备性能和处理。
保养可以分为以下几种类型。

1. 预防性保养：为了防止出现故障，有计划地进行保养
2. 事故后保养：在故障发生后进行维修
3. 改善性保养：为提高运行效率等，改善性能而进行的保养

故障发生后进行保养也是一种方法。
但这种情况需要由制造商的服务部门进行维修，因此会花费时间和金钱，影响生产计划。
成膜设备的用户需要进行充分的预防性保养。 设备使用说明书的”保养”部分详细记载了预防性保养的维护和检查要领、异常情况时的处理方法和注意事项。另外，定期检查项目和保养周期已归纳成表。必须按照要领说明进行检查保养。本表中的保养周期针对一般使用条件制定。昼夜运行等使用条件下，应考虑适当增加保养次数等措施。主要检查部分如下。

1. 作业开始时的检查・・・电力、冷却水、压缩空气等基本公共设施和油旋转泵油量的检查
2. 真空室的清洁・・・污垢会导致排气时间延长造成产量降低和薄膜质量下降
3. 紧固件的检查・・・检查紧固是否合适
   • 各电极端子部・・接触电阻的增加会导致发热
   • 密封件・・导致真空泄漏的原因
   • 压缩空气类・・阀门等气动部的动作不良很可能造成大故障
4. 各机构部的检查・・・检查动作是否顺畅
5. 各测量仪器和电源设备的检查・・・检查是否显示为正常值，有无异常显示等
6. 其他・・・检查框体和电源内部等是否有垃圾灰尘等
   进行保养时，按照使用说明书进行，将日常检查项目归纳成表作为检查表使用会更方便

预防性保养应注意以下几点。

1. 事先准确掌握正常状态（工作状态、各设定值、仪表显示等）
2. 事先记录下有使用寿命限制部件的更换时间
3. 事先正确了解各部件及功能的名称
4. 理解设备和部件的功能
5. 理解输入输出信号及其用途
6. 通读使用说明书

如果充分进行了预防性保养仍发生了故障，确认好以下项目再联系本公司，可缩短处理时间。

1. 发生日期
2. 症状
   • 在进行什么操作时发生的？
   • 哪个部分发生了哪些症状？
   • 是否显示有错误信息？
3. 发生症状前，是否有某些地方发生变更？
4. 故障是
   • 长期的还是偶尔发生的？
   • 设备是否存在破损部位？
   • 进行相同的操作是否会再现？
5. 是否还发生其他看上去跟该故障没有直接关系的故障？
6. 该设备以外的工厂设备等是否有变更的地方？