電子・電気

高周波フィルター

携帯電話に代表される移動体通信機器の電波の送受信には、表面弾性波SAW（Surface Acoustic Wave）やバルク波BAW（Bulk Acoustic Wave）を利用したRF フィルターが用いられています。

Al, AlCu膜の配向性

TC-SAWの断面SEM像（協力：千葉大橋本教授）

SAWフィルターは、圧電体基板の表面に櫛形電極 IDT（Interdigital Transducer) を形成した構造で、IDTにより励振された弾性表面波の共振特性を利用して、RFフィルターの帯域を形成します。

より高い周波数に対応する技術として、バルク弾性波 (BAW) を利用したRFフィルターがあります。
BAWは圧電体を上下電極で挟み込む構造で、厚み縦振動を利用したフィルターです。
BAWの共振を利用したRFフィルターでは高い急峻性をもつ良好なフィルター特性を得ることが可能となります。
BAWデバイスにはFBAR（Film Bulk Acoustic Resonator）とSMR（Solidly-Mounted Resonator）があります。

金属電極形成

金属物質材料の種類、特性等に合わせ、要求する機能を持たせた電極膜の成膜が可能です。電子部品における受動 / 能動素子のパッド電極としてAu / Al / Cu / Tiといった金属が採用されますが、これらの金属と素子の配線の接触抵抗を極小にすることが可能です。

透明電極形成

電気を通したい、光を通すために透明にしたい、という両方の要求を満たすのが、透明導電膜です。酸化インジウムと酸化スズの混合物であるITOから成膜され（そのため「ITO膜」とも呼ばれます）タッチパネルディスプレイ向けの「帯電防止」や「透明電極」、次世代太陽電池向けの「透明電極」など多彩な機能を実現します。結露や着雪を防ぐ透明ヒーターなどにも使用されます。